Wyszukiwanie:
|
|
Sortowanie:
|
|
|
Bibliografia Publikacji Pracowników PK (50023) | Inne bazy bibliograficzne (15019) Architektura i Sztuka Krakowa (2298) | Historia i Ludzie PK – baza w przygotowaniu (0) | Konferencje Krynickie - Referaty (7776) LXVII Konferencja Naukowa, 2022 (41) | LXVI Konferencja Naukowa, 2020 (67) | LXV Konferencja Naukowa, 2019 (58) | LXIV Konferencja Naukowa, 2018 (139) | LXIII Konferencja Naukowa, 2017 (136) | LXII Konferencja Naukowa, 2016 (150) | LXI Konferencja Naukowa, 2015 (145) | LX Konferencja Naukowa, 2014 (190) | LIX Konferencja Naukowa, 2013 (110) | LVIII Konferencja Naukowa, 2012 (168) | LVII Konferencja Naukowa, 2011 (111) | LVI Konferencja Naukowa, 2010 (130) | LV Konferencja Naukowa, 2009 (108) | LIV Konferencja Naukowa, 2008 (161) | LIII Konferencja Naukowa, 2007 (161) | LII Konferencja Naukowa, 2006 (123) | LI Konferencja Naukowa, 2005 (113) | L Konferencja Naukowa, 2004 (165) | XLIX Konferencja Naukowa, 2003 (125) | XLVIII Konferencja Naukowa, 2002 (137) | XLVII Konferencja Naukowa, 2001 (154) | XLVI Konferencja Naukowa, 2000 (140) | XLV Konferencja Naukowa, 1999 (161) | XLIV Konferencja Naukowa, 1998 (140) | XLIII Konferencja Naukowa, 1997 (153) | XLII Konferencja Naukowa, 1996 (164) | XLI Konferencja Naukowa, 1995 (173) | XL Konferencja Naukowa, 1994 (151) | XXXIX Konferencja Naukowa, 1993 (148) | XXXVIII Konferencja Naukowa, 1992 (117) | XXXVII Konferencja Naukowa, 1991 (125) | XXXVI Konferencja Naukowa, 1990 (109) | XXXV Konferencja Naukowa, 1989 (150) | XXXIV Konferencja Naukowa, 1988 (177) | XXXIII Konferencja Naukowa, 1987 (195) | XXXII Konferencja Naukowa, 1986 (190) | XXXI Konferencja Naukowa, 1985 (180) | XXX Konferencja Naukowa, 1984 (143) | XXIX Konferencja Naukowa, 1983 (141) | XXVIII Konferencja Naukowa, 1982 (120) | XXVII Konferencja Naukowa, 1981 (160) | XXVI Konferencja Naukowa, 1980 (169) | XXV Konferencja Naukowa, 1979 (177) | XXIV Konferencja Naukowa, 1978 (143) | XXIII Konferencja Naukowa, 1977 (120) | XXII Konferencja Naukowa, 1976 (143) | XXI Konferencja Naukowa, 1975 (132) | XX Konferencja Naukowa, 1974 (151) | XIX Konferencja Naukowa, 1973 (131) | XVIII Konferencja Naukowa, 1972 (112) | XVII Konferencja Naukowa, 1971 (120) | XVI Konferencja Naukowa, 1970 (116) | XV Konferencja Naukowa, 1969 (75) | XIV Konferencja Naukowa, 1968 (114) | XIII Konferencja Naukowa, 1967 (100) | XII Konferencja Naukowa, 1966 (106) | XI Konferencja Naukowa, 1965 (81) |
| Niepublikowane prace naukowe pracowników PK (1994-2012) (4941) |
|
Jednostki PK
Opcje
|
Forma publikacji | | referat/artykuł | Wariant tytułu | | Materials and processes for manufacturing of the MEMS components | Seria/Czasopismo | | Inżynieria Maszyn = Machine Engineering | Data wydania | | 2011 | Język | | polski | Numeracja | | R. 16, z. 4 | Zakres stron | | 19-26 | Oznaczenie ilustracji | | rys. | Bibliografia (na str.) | | 25-26 | Bibliografia (liczba pozycji) | | 21 | Oznaczenie streszczenia | | Streszcz. pol., ang. | ISSN | | 1426-708X | Uwagi | | Tyt. zeszytu: Obróbka skoncentrowaną wiązką energii = Energy focused beam machining | Nazwa konferencji | | EM'12 : Międzynarodowa XI Konferencja Electromachining | Miejsce konferencji | | Bydgoszcz-Pieczyska nad Zalewem Koronowskim | Data konferencji | | 16-18.05.2012 | Charakter pracy | | publikacja naukowa | Rodzaj publikacji | | oryginalny artykuł naukowy (original article) | Publikacja recenzowana | | tak | Opis bibliograficzny | | Materiały i procesy stosowane w wytwarzaniu elementów MEMS / Jadwiga Horoszkiewicz, Adam Ruszaj, Sebastian Skoczypiec // Inżynieria Maszyn = Machine Engineering. – 2011, R. 16, z. 4, s. 19-26 : rys. ... więcejMateriały i procesy stosowane w wytwarzaniu elementów MEMS / Jadwiga Horoszkiewicz, Adam Ruszaj, Sebastian Skoczypiec // Inżynieria Maszyn = Machine Engineering. – 2011, R. 16, z. 4, s. 19-26 : rys. – Bibliogr. 21 poz., Streszcz. pol., ang. – Tyt. streszcz.: Materials and processes for manufacturing of the MEMS components. – Tyt. zeszytu: Obróbka skoncentrowaną wiązką energii = Energy focused beam machining. – Mat. konf.: EM'12 : Międzynarodowa XI Konferencja Electromachining, Bydgoszcz-Pieczyska nad Zalewem Koronowskim, 16-18.05.2012. – ISSN 1426-708X |
Klasyfikacja PKT | | [371700] Technologia budowy maszyn [370000] Budowa maszyn. Przemysł maszynowy i metalowy | Słowa kluczowe | | MEMS, materiały, technologie, zastosowanie | Abstrakt | | W artykule przedstawiono zarys problematyki związanej z mikro - elektro - mechanicznymi systemami, a w szczególności podano informacje dotyczące stosowanych materiałów i technologii do ich wytwarzania. ... więcejW artykule przedstawiono zarys problematyki związanej z mikro - elektro - mechanicznymi systemami, a w szczególności podano informacje dotyczące stosowanych materiałów i technologii do ich wytwarzania. Obszar zainteresowań tematyką MEMS jest bardzo duży. Układy MEMS znajdują zastosowanie we wszystkich dziedzinach życia. Proces ich projektowania jest interdyscyplinarny i wymaga zastosowania specjalistycznych aplikacji. Podstawowym materiałem stosowanym w wytwarzania układów MEMS jest krzem. Obecnie identyfikowanych jest ponad 200 technologii stosowanych w wytwarzaniu MEMS, a wiele innych jest jeszcze na etapie badań laboratoryjnych.
The paper presents the outline of problems connected with MEMS manufacturing, especially data related to materials and technologies applied in practice. Area of MEMS is interested very wide. MEMS have ... więcejThe paper presents the outline of problems connected with MEMS manufacturing, especially data related to materials and technologies applied in practice. Area of MEMS is interested very wide. MEMS have been applied almost in each branch of our life. Process of MEMS design is interdisciplinary and needs a sophisticated applications. The main material in MEMS manufacturing is silicon (Si). Nowadays over 200 special technologies are applied in MEMS manufacturing; many of other is in the stage of laboratory investigations. They are presented in this paper. |
Lista MNiSW/MEiN | | B | Punktacja czasopisma | | 4 |
Publikacja w Open Access (OA) | | tak |
Link do publikacji | | w wersji elektronicznej online | Link do katalogu Biblioteki PK | | przejdź | Kolekcja | | |
|