Wyszukiwanie:
tytuł, autor
wszędzie

Sortowanie:


Bibliografia Publikacji Pracowników PK (46613)
    Książki (7636)
    Artykuły i czasopisma (21073)
    Materiały konferencyjne (22971)
    Rozprawy doktorskie (1191)
    Opublikowane recenzje (87)
    Inne publikacje w portalach i serwisach internetowych (106)
Inne bazy bibliograficzne (14977)
    Architektura i Sztuka Krakowa (2298)
    Historia i Ludzie PK – baza w przygotowaniu (0)
    Konferencje Krynickie - Referaty (7734)
    Niepublikowane prace naukowe pracowników PK (1994-2012) (4941)


Jednostki PK

Opcje

Jonas, Stanisława; Januś, Marta; Jaglarz, Janusz; Kyzioł, Karol

Formation of SixNy(H) and C:N:H layers by Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition method

typ: artykuł w czasopiśmie

 

Seria/Czasopismo Thin Solid Films
Numeracja Vol. 600
Data wydania 2016
Język angielski
Typ nośnika online
Zakres stron 162-168
Oznaczenie ilustracji rys., wykr.
Bibliografia (na str.) 167-168
Bibliografia (liczba pozycji) 30
Oznaczenie streszczenia Abstr.
ISSN 0040-6090
Charakter pracy publikacja naukowa
Publikacja recenzowana tak
DOI 10.1016/j.tsf.2016.01.016
Opis bibliograficzny
Formation of SixNy(H) and C:N:H layers by Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition method / Stanisława Jonas, Marta Januś, Janusz Jaglarz, Karol Kyzioł // Thin Solid Films [Dokument elektroniczny]. ... więcej

tematyka
Słowa kluczowe PA CVD method, SixNy(H) layer, C:N:H layer, growth rate, active centers, optical properties
Abstrakt
This work includes the results of growth rate of the silicon nitride layers and layers of carbon doped nitrogen deposition on (001) Si substrate as a function of time in the process of chemical vapor deposition, ... więcej

punktacja i wskaźniki
Lista MNiSW A
Punktacja czasopisma 30
Impact Factor 1.879
Publikacja indeksowana w Web of Science tak
Publikacja indeksowana w bazie Scopus tak

dodatkowe informacje
Publikacja w Open Access (OA) nie

odnośniki
Link do publikacji przejdź  
Kolekcja
Artykuły
Artykuły i czasopisma /






© 2009 - 2021 Biblioteka Politechniki Krakowskiej http://www.biblos.pk.edu.pl/