Wyszukiwanie:
tytuł, autor
wszędzie

Sortowanie:


Bibliografia Publikacji Pracowników PK (46604)
    Książki (7636)
    Artykuły i czasopisma (21071)
    Materiały konferencyjne (22964)
    Rozprawy doktorskie (1191)
    Opublikowane recenzje (87)
    Inne publikacje w portalach i serwisach internetowych (106)
Inne bazy bibliograficzne (14977)
    Architektura i Sztuka Krakowa (2298)
    Historia i Ludzie PK – baza w przygotowaniu (0)
    Konferencje Krynickie - Referaty (7734)
    Niepublikowane prace naukowe pracowników PK (1994-2012) (4941)


Jednostki PK

Opcje

Tkacz-Śmiech, Katarzyna; Dyndał, Katarzyna; Sanetra, Jerzy; Jaglarz, Janusz

Comparison of a-C:N:H layers grown at the anode and cathode in RF-PACVD processing

typ: artykuł w czasopiśmie

 

Seria/Czasopismo Vacuum
Numeracja Vol. 146
Data wydania 2017
Język angielski
Typ nośnika online
Zakres stron 15-21
Oznaczenie ilustracji il. (w tym kolor.)
Bibliografia (na str.) 20-21
Bibliografia (liczba pozycji) 27
Oznaczenie streszczenia Abstr.
ISSN 0042-207X
Charakter pracy publikacja naukowa
Publikacja recenzowana tak
Rodzaj publikacji oryginalny artykuł naukowy (original article)
DOI 10.1016/j.vacuum.2017.09.025
Opis bibliograficzny
Comparison of a-C:N:H layers grown at the anode and cathode in RF-PACVD processing / Katarzyna Tkacz-Śmiech, Katarzyna Dyndał, Jerzy Sanetra, Janusz Jaglarz // Vacuum [Dokument elektroniczny]. – 2017, ... więcej

tematyka
Słowa kluczowe carbon nitride layers, chemical vapour deposition, ellipsometry, structural, optical properties
Abstrakt
Formation of amorphous hydrogenated carbon nitride layers, a-C:N:H, by radio frequency plasma - assisted chemical vapour deposition, RF-PACVD, 13.56 MHz, is studied. The repeatability of the process is ... więcej

punktacja i wskaźniki
Lista MNiSW A
Punktacja czasopisma 25
Impact Factor 2.067
Publikacja indeksowana w Web of Science tak
Publikacja indeksowana w bazie Scopus tak
Dyscyplina inżynieria materiałowa

dodatkowe informacje
Publikacja w Open Access (OA) nie

odnośniki
Link do publikacji przejdź  
Kolekcja
Artykuły
Artykuły i czasopisma /






© 2009 - 2021 Biblioteka Politechniki Krakowskiej http://www.biblos.pk.edu.pl/