Wyszukiwanie:
tytuł, autor
wszędzie

Sortowanie:


Bibliografia Publikacji Pracowników PK (47530)
    Książki (7463)
    Artykuły i czasopisma (21795)
    Materiały konferencyjne (22602)
    Rozprawy doktorskie (1201)
    Opublikowane recenzje (87)
    Inne publikacje w portalach i serwisach internetowych (117)
Inne bazy bibliograficzne (14977)
    Architektura i Sztuka Krakowa (2298)
    Historia i Ludzie PK – baza w przygotowaniu (0)
    Konferencje Krynickie - Referaty (7734)
    Niepublikowane prace naukowe pracowników PK (1994-2012) (4941)


Jednostki PK

Opcje

Kluska, Stanisława; Jurzecka-Szymacha, Maria; Nosidlak, Natalia; Dulian, Piotr; Jaglarz, Janusz

The optical and thermo-optical properties of non-stoichiometric silicon nitride layers obtained by the PECVD method with varying levels of nitrogen content

typ: artykuł w czasopiśmie

 

Seria/Czasopismo Materials
Numeracja Vol. 15, Iss. 6, Spec. Iss.
Data wydania 2022
Numer specjalny tak
Język angielski
Typ nośnika online
Zakres stron [1-12]
Liczba stron 12
Oznaczenia ref./art. 2260
Oznaczenie ilustracji fot., tab., wykr.
Bibliografia (na str.) 11-12
Bibliografia (liczba pozycji) 43
Oznaczenie streszczenia Abstr.
ISSN 1996-1944
Uwagi Special Issue: Advanced Modification Methods to Improve the Performance of Thin Films and Coatings
Charakter pracy publikacja naukowa
Publikacja recenzowana tak
Rodzaj publikacji oryginalny artykuł naukowy (original article)
DOI 10.3390/ma15062260
Opis bibliograficzny
The optical and thermo-optical properties of non-stoichiometric silicon nitride layers obtained by the PECVD method with varying levels of nitrogen content / Stanisława Kluska, Maria Jurzecka-Szymacha, ... więcej

tematyka
Słowa kluczowe PECVD technique, spectroscopic ellipsometry, amorphous SiNx:H layers, thermo-optical properties
Abstrakt
In this paper, we investigated the optical and thermo-optical properties of a-SiNx:H layers obtained using the PECVD technique. SiNx:H layers with different refractive indices were obtained from silane ... więcej

punktacja i wskaźniki
Lista MNiSW/MEiN tak
Punktacja czasopisma 140
Impact Factor 3.623
Publikacja indeksowana w Web of Science tak
Dyscyplina inżynieria materiałowa
Dziedzina nauk inżynieryjno-technicznych

dodatkowe informacje
Publikacja w Open Access (OA) tak

odnośniki
Link do publikacji przejdź  
Projekt spoza indeksu BPP This work was supported from the subsidy of the Ministry of Education and Science for the AGH University of Science and Technology in Kraków (Project No 16.16.160.557)
Kolekcja
Artykuły
Artykuły i czasopisma /






© 2009 - 2022 Biblioteka Politechniki Krakowskiej http://www.biblos.pk.edu.pl/