Wyszukiwanie:
|

|
Sortowanie:
|
|
|
Bibliografia Publikacji Pracowników PK (47530) | Inne bazy bibliograficzne (14977) Architektura i Sztuka Krakowa (2298) | Historia i Ludzie PK – baza w przygotowaniu (0) | Konferencje Krynickie - Referaty (7734) LXVI Konferencja Naukowa, 2020 (67) | LXV Konferencja Naukowa, 2019 (58) | LXIV Konferencja Naukowa, 2018 (139) | LXIII Konferencja Naukowa, 2017 (136) | LXII Konferencja Naukowa, 2016 (150) | LXI Konferencja Naukowa, 2015 (145) | LX Konferencja Naukowa, 2014 (190) | LIX Konferencja Naukowa, 2013 (110) | LVIII Konferencja Naukowa, 2012 (168) | LVII Konferencja Naukowa, 2011 (111) | LVI Konferencja Naukowa, 2010 (130) | LV Konferencja Naukowa, 2009 (108) | LIV Konferencja Naukowa, 2008 (161) | LIII Konferencja Naukowa, 2007 (161) | LII Konferencja Naukowa, 2006 (123) | LI Konferencja Naukowa, 2005 (113) | L Konferencja Naukowa, 2004 (165) | XLIX Konferencja Naukowa, 2003 (125) | XLVIII Konferencja Naukowa, 2002 (137) | XLVII Konferencja Naukowa, 2001 (154) | XLVI Konferencja Naukowa, 2000 (140) | XLV Konferencja Naukowa, 1999 (161) | XLIV Konferencja Naukowa, 1998 (140) | XLIII Konferencja Naukowa, 1997 (153) | XLII Konferencja Naukowa, 1996 (164) | XLI Konferencja Naukowa, 1995 (173) | XL Konferencja Naukowa, 1994 (151) | XXXIX Konferencja Naukowa, 1993 (148) | XXXVIII Konferencja Naukowa, 1992 (117) | XXXVII Konferencja Naukowa, 1991 (125) | XXXVI Konferencja Naukowa, 1990 (109) | XXXV Konferencja Naukowa, 1989 (150) | XXXIV Konferencja Naukowa, 1988 (177) | XXXIII Konferencja Naukowa, 1987 (195) | XXXII Konferencja Naukowa, 1986 (190) | XXXI Konferencja Naukowa, 1985 (180) | XXX Konferencja Naukowa, 1984 (143) | XXIX Konferencja Naukowa, 1983 (141) | XXVIII Konferencja Naukowa, 1982 (120) | XXVII Konferencja Naukowa, 1981 (160) | XXVI Konferencja Naukowa, 1980 (169) | XXV Konferencja Naukowa, 1979 (177) | XXIV Konferencja Naukowa, 1978 (143) | XXIII Konferencja Naukowa, 1977 (120) | XXII Konferencja Naukowa, 1976 (143) | XXI Konferencja Naukowa, 1975 (132) | XX Konferencja Naukowa, 1974 (151) | XIX Konferencja Naukowa, 1973 (131) | XVIII Konferencja Naukowa, 1972 (112) | XVII Konferencja Naukowa, 1971 (120) | XVI Konferencja Naukowa, 1970 (116) | XV Konferencja Naukowa, 1969 (75) | XIV Konferencja Naukowa, 1968 (114) | XIII Konferencja Naukowa, 1967 (100) | XII Konferencja Naukowa, 1966 (106) | XI Konferencja Naukowa, 1965 (81) |
| Niepublikowane prace naukowe pracowników PK (1994-2012) (4941) |
|
Jednostki PK
Opcje
|
Seria/Czasopismo | | Materials | Numeracja | | Vol. 15, Iss. 6, Spec. Iss. | Data wydania | | 2022 | Numer specjalny | | tak | Język | | angielski | Typ nośnika | | online | Zakres stron | | [1-12] | Liczba stron | | 12 | Oznaczenia ref./art. | | 2260 | Oznaczenie ilustracji | | fot., tab., wykr. | Bibliografia (na str.) | | 11-12 | Bibliografia (liczba pozycji) | | 43 | Oznaczenie streszczenia | | Abstr. | ISSN | | 1996-1944 | Uwagi | | Special Issue: Advanced Modification Methods to Improve the Performance of Thin Films and Coatings | Charakter pracy | | publikacja naukowa | Publikacja recenzowana | | tak | Rodzaj publikacji | | oryginalny artykuł naukowy (original article) | DOI | | 10.3390/ma15062260 | Opis bibliograficzny | | The optical and thermo-optical properties of non-stoichiometric silicon nitride layers obtained by the PECVD method with varying levels of nitrogen content / Stanisława Kluska, Maria Jurzecka-Szymacha, ... więcejThe optical and thermo-optical properties of non-stoichiometric silicon nitride layers obtained by the PECVD method with varying levels of nitrogen content / Stanisława Kluska, Maria Jurzecka-Szymacha, Natalia Nosidlak, Piotr Dulian, Janusz Jaglarz // Materials [Dokument elektroniczny]. – 2022, Vol. 15, Iss. 6, Spec. Iss., 12 s. : fot., tab., wykr. – Tryb dostępu: https://www.mdpi.com/1996-1944/15/6/2260/htm. – Oznaczenie ref./art.: 2260. – Bibliogr. 43 poz., Abstr. – Special Issue: Advanced Modification Methods to Improve the Performance of Thin Films and Coatings. – doi: 10.3390/ma15062260. – ISSN 1996-1944 |
Słowa kluczowe | | PECVD technique, spectroscopic ellipsometry, amorphous SiNx:H layers, thermo-optical properties | Abstrakt | | In this paper, we investigated the optical and thermo-optical properties of a-SiNx:H layers obtained using the PECVD technique. SiNx:H layers with different refractive indices were obtained from silane ... więcejIn this paper, we investigated the optical and thermo-optical properties of a-SiNx:H layers obtained using the PECVD technique. SiNx:H layers with different refractive indices were obtained from silane and ammonia as precursor gases. Surface morphology and chemical composition studies were investigated using atomic force microscopy, scanning electron microscopy, Fourier transform infrared spectroscopy and energy dispersive spectrometry methods. Spectroscopic ellipsometry was used to determine the optical indexes, thicknesses and optical bandgap of the films. The main purpose was to identify the thermo-optical characteristics of layers with different refractive indexes. Thermo-optical studies were performed to determine the temperature hysteresis of optical parameters. These measurements showed that after annealing up to 300 ◦C and subsequent cooling, the value of optical parameters returned to the initial values. |
Lista MNiSW/MEiN | | tak | Punktacja czasopisma | | 140 | Impact Factor | | 3.623 | Publikacja indeksowana w Web of Science | | tak | Dyscyplina | | inżynieria materiałowa Dziedzina nauk inżynieryjno-technicznych |
Publikacja w Open Access (OA) | | tak |
Link do publikacji | | przejdź | Projekt spoza indeksu BPP | | This work was supported from the subsidy of the Ministry of Education and Science for the AGH University of Science and Technology in Kraków (Project No 16.16.160.557) | Kolekcja | | |
|